圧電MEMS研究会

第１回研究会

日時： 2013年7月16日(火)13:00〜16:40
場所： 神戸大学　瀧川記念学術交流会館　2F 大会議室
プログラム：

13:00 - 13:40　運営会議（参加者全員）
         研究会設立の経緯：　立命館大学　田中克彦
         研究会の運営：　　　神戸大学　　神野伊策

13:45 - 16:40　講演会 
　13:45 - 14:15　強誘電体薄膜デバイス研究の歴史：　大阪大学　奥山雅則 
　14:15 - 15:00　PiezoMEMS2013 学会報告：　神戸大学　神野 伊策
　　　休憩 
　15:10 - 15:55　KNN非鉛圧電薄膜の作製およびその応用：　日立電線　柴田憲治 
　15:55 - 16:40  京大ハブ拠点の微細加工装置群と関連研究：　京都大学　松嶋朝明
      産総研集積マイクロシステム研究センターの研究開発と設備の紹介：
 						産業技術総合研究所　　小林 健
17:00 - 18:30    懇親会