圧電MEMS研究会

第２６回研究会

The 26th PiezoMEMS workshop of Japan

日時： 2023年10月28日(土) 13:30～16:45
Date and Time: October 28th (Sat) 13:30～16:45
場所：芝浦工業大学　豊洲キャンパス　教室棟302教室
Room 302, Classroom and Administration Building, Shibaura Institute of Technology
（＊オンライン併用）

Program：

13:30 - 14:30  単純化合物強誘電体の進展　
                     / Progress in Simple Compound Ferroelectrics
	清水　荘雄（物質材料研究機構）/　Dr. Takao Shimizu (NIMS)

14:30 - 15:30  Reliability of Piezoelectric Films for MEMS 
		Susan Trolier-McKinstry（Penn State University）

15:30 - 15:45　　　休憩

15:45 - 16:45　What piezo devices will come in the next and future?
　　　田中　秀治（東北大学）/　Prof. Shuji Tanaka (Tohoku University)


17:00 - 18:30 　懇親会 




参加ご希望の方は、件名に「第26回圧電MEMS研究会参加申込み」と記載の上、
氏名、所属、メールアドレス、参加形態（現地・オンライン）、懇親会（参加・不参加）
をご記入の上、10月20日迄に下記までメールお願いします。

神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻　神野研究室内
「圧電MEMS研究会」事務局　竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp   (""は削除して下さい)

リモート参加者には10月24日以降Zoom URLをご連絡致します。