圧電MEMS研究会
第8回研究会
日時: 2015年10月21日(水) 13:30〜17:00
場所: 産業技術総合研究所 臨海副都心センター<別館>
会議室1(別館11F 11205〜6)
***アクセス***
参加費: 会員−無料, 非会員−\20,000
13:30 - 14:30 溶液を用いたケミカルプロセスによるBi系強誘電体薄膜の作製と評価 坂本 渉(名古屋大学) 14:30 - 15:30 ゾルゲル法によるPZT系薄膜作製の基礎とその特徴(仮) 鈴木久男(静岡大学) 15:30 - 15:45 休憩 15:45 - 16:30 ゾルゲル法によるPZT圧電膜量産成膜技術の確立 曽山信幸(三菱マテリアル) 16:30 - 17:00 圧電薄膜測定技術に関するIEC国際標準化プロジェクト:進捗報告2 神野伊策(神戸大学) 17:15 - 18:30 交流会 (交流会費: \1,500/人) 参加ご希望の方は10/13(火)までに下記事務局までご連絡下さい. ・懇親会の参加についても合わせてご連絡下さい. 神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻 神野研究室内 「圧電MEMS研究会」事務局 竹中京子 e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp (""は削除して下さい)