研究基盤センター機器分析部門 利用者各位
CIS装置におきまして、真空ゲージの切り替え(ピラニー→ピニング)に不具合が生じており、真空度の表示が 1×10-1 Pa以下にならないため、ミリングが開始できない状態になっております。 利用者のみなさまにはご不便をおかけしまして大変申し訳ありませんが、修理が完了しましたら改めてご連絡 させていただきます。 なにとぞよろしくお願いいたします。