研究基盤センター機器分析部門 利用者各位
CIS装置の真空度表示が下がらず、ミリングが開始できない不具合につきまして、真空ゲージのクリーニングにより、ご使用いただける状態になりました。 利用者のみなさまにはご不便をおかけしまして大変申し訳ありませんでした。