ソフトプラズマエッチング装置がご利用になれます（2022.11.01投稿)
研究基盤センター機器分析部門
利用者各位
いつも機器分析部門の運用にご協力いただきまして、ありがとうございます。
SEM試料作成装置にソフトエッチング装置が新たに加わりました。
これまでの装置と同様に簡単に利用可能です。是非、ご活用ください。
また、ご利用料金は、基本的にこれまでと同じですが、SEM試料作成装置のご予約方法が変更になりました。
【ご注意】
・1回1時間としてご予約ください。
・実績には使用回数に合わせた使用時間をご入力ください。
ご不明な点がござましたら、機器分析部門（csrea-kiki@research.kobe-u.ac.jp）までお問い合わせください。