XPS(SPES)利用時の障害発生について(2025.09.12投稿) 

研究基盤センター機器分析部門
利用者各位


平素お世話になっております。

現在、当部門のXPS(SPES)において、測定中に修復モードへ移行し、測定プロセスが途中で飛ばされる障害が頻発しております。
メーカーにも既に問い合わせておりますが、現時点では原因は特定されておりません。

現状の推測では、試料側測定を開始する際の準備時間が長すぎることによるタイムアウトの可能性が考えられます。
そのため、測定を開始する前にLive image側で「Auto Z」機能を実行していただくと、比較的スムーズに測定が始まる傾向が見られています。

当面、XPS(SPES)の利用を停止する予定はございませんが、修復モード移行による影響で、測定時間が長引いたり、連続測定が中断される恐れがあります。
ご利用予定の皆様におかれましては、十分ご注意くださいますようお願いいたします。

この度はご不便・ご迷惑をおかけし、心よりお詫び申し上げます。
引き続き、どうぞよろしくお願い申し上げます。