XPS(SPES)電子源不具合による測定条件変更のお願い(2025.11.26投稿) 

研究基盤センター機器分析部門
利用者各位


平素お世話になっております。

XPS(SPES)につきまして、電子源の不具合に伴う障害が発生しております。
現在、200 μm・50 W の条件で測定した場合に タイムアウトエラー(エラーコード:FXS 514) が頻発している状況です。

利用者の皆様にはご不便をおかけし誠に申し訳ございませんが、
当面の間、低パワー条件(100 μm・25 W)での測定をお願いいたします。

なお、電子銃の交換時期につきましては、今年度中の対応は難しく、来年度になる予定とのことです。
交換時期が確定次第、改めてご連絡いたします。

利用者の皆様にはご不便・ご迷惑をおかけしておりますこと、心よりお詫び申し上げます。
引き続き、どうぞよろしくお願い申し上げます。