| 装置管理番号 | 1114 |
| 装置設備名称 | スピンコーター |
| メーカー | ミカサ |
| 商品名・型式 | MS-A100 |
 |
|
| 性能・仕様 | 回転数20-8000rpm 4インチウェハーサイズまで。 |
| 設備概要・用途 | 平滑な基材を高速回転させる事により遠心力でポリマー溶液を塗布し、薄膜を形成させる装置です。 |
| 対象試料 | |
| 設置場所 | 先端膜工学研究拠点6階605-1 |
| その他・注意事項 | |
| 装置管理番号 | 1114 |
| 装置設備名称 | スピンコーター |
| メーカー | ミカサ |
| 商品名・型式 | MS-A100 |
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| 性能・仕様 | 回転数20-8000rpm 4インチウェハーサイズまで。 |
| 設備概要・用途 | 平滑な基材を高速回転させる事により遠心力でポリマー溶液を塗布し、薄膜を形成させる装置です。 |
| 対象試料 | |
| 設置場所 | 先端膜工学研究拠点6階605-1 |
| その他・注意事項 | |