| 装置管理番号 | 1119 |
| 装置設備名称 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| メーカー | SII |
| 商品名・型式 | SPA400 |
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| 性能・仕様 | カンチレバーを交換することにより原子間力顕微鏡(AFM)測定、ダイナミックフォースモード(DFM)測定ができます。走査エリア/形状：100nm～20μm/1μm以下の凸凹 |
| 設備概要・用途 | 先端が数nmの細く尖った探針で試料表面を走査することで、高倍率な立体形状観察と物性分析を行う顕微鏡です。 |
| 対象試料 | 固体 |
| 設置場所 | 先端膜工学研究拠点5階 506 分析室2 |
| その他・注意事項 |