装置管理番号 | 1128 |
装置設備名称 | クロスセクションポリッシャ |
メーカー | 日本分光(JEOL) |
商品名・型式 | IB-09020CP |
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性能・仕様 | 試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングされる領域と、遮蔽板で遮蔽される領域の境界に沿って、試料の断面を形成させることが可能 また、内部カメラによって試料加工状態を観察することが可能 |
設備概要・用途 | 高分子膜の断面観察を行う際に、膜断面の形成に使用 |
対象試料 | 液体、固体 |
設置場所 | 工学部C2-102 SEM室 |
その他・注意事項 |