| 装置管理番号 | 1204 |
| 装置設備名称 | フォトルミネッセンス (PL) 装置 |
| メーカー | HITACHI |
| 商品名・型式 | F-7000形日立分光蛍光光度計 |
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| 性能・仕様 | 光を試料に当てることによって、高感度に半導体中の不純物の有無や発光の要因を調べることができる |
| 設備概要・用途 | 標準10mm角セル使用時、最少試料量は0.6mL 化合物半導体エピ層の組成分析、発光材料の欠陥、界面の評価、光集積回路の非破壊評価など幅広い分析が可能である |
| 対象試料 | 発光体材料、半導体材料 |
| 設置場所 | 4W-406 |
| その他・注意事項 | |