第２２回研究会

日時： 2021年2月26日(金) 13:30〜15:30
Zoom online開催　（URLは後日連絡）

参加費：　会員／非会員−無料
(今年度の研究会はWeb開催のため、企業登録および参加費は不要です。)

プログラム： 
13:30-14:15　PZTおよびKNN圧電薄膜のスパッタ成膜と圧電特性評価　
					(神戸大学・神野伊策) 

14:15-15:00　大阪府立大学における圧電体薄膜の製膜・評価技術の開発状況　
				    （大阪府立大学・吉村 武）

15:00-15:30　放射光XRDによる圧電ひずみ測定
				    （大阪府立大学・譚ゴオン）



参加ご希望の方は、件名に「第22回圧電MEMS研究会参加申込み」と記載の上、
2月15日迄に下記までメールお願いします。

神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻　神野研究室内
「圧電MEMS研究会」事務局　竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp   (""は削除して下さい)

2月15日以降参加申込者にZoom URLをご連絡致します。