第２４回研究会

日時： 2022年12月15日(木) 13:30〜16:30
場所：産業技術総合研究所　臨海副都心センター＜別館＞　会議室１（11F 11205〜6)
 （＊オンライン併用）

プログラム： 
13:30-14:30  強誘電体HfO2およびAlN膜の圧電膜としての可能性
				　　　　舟窪　浩（東京工業大学）

14:30-15:15　ドライプロセスによるPZT圧電膜の量産技術
					木村　勲（ULVAC）

15:15-15:30　　　休憩

15:30-16:30　高分子圧電材料の物性と応用例
					中嶋　宇史（東京理科大学）


17:30　懇親会 （レストランシーガル）


参加ご希望の方は、件名に「第24回圧電MEMS研究会参加申込み」と記載の上、
氏名、所属、メールアドレス、参加形態（現地・オンライン）、懇親会（参加・不参加）
をご記入の上、11月30日迄に下記までメールお願いします。

神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻　神野研究室内
「圧電MEMS研究会」事務局　竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp   (""は削除して下さい)

リモート参加者には12月5日以降Zoom URLをご連絡致します。