圧電MEMS研究会
第2回研究会
日時: 2013年10月7日(月) 13:00〜16:40
場所: 産業技術総合研究所つくば東事業所 4G棟1F 国際セミナー室
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html
(当日 12:40つくばセンター発の臨時マイクロバス(最大28人)が出ますのでご利用下さい)
13:00 - 13:05 諸連絡 神野伊策(神戸大学)
13:05 - 13:35 自社製品用PZT膜のファンドリーサービスへの応用と課題への取組み
竹本剛士(シリコンセンシング)
13:35 - 13:55 産総研8インチラインの紹介 (MNOIC)
13:55 - 15:00 産総研集積マイクロシステム研究センター見学会
15:00 - 15:20 休憩
15:20 - 16:05 センサネットワークと圧電MEMS(仮題)
伊藤 寿浩(産総研集積マイクロシステム研究センター 副センター長)
16:05 - 16:50 BiFeO3非鉛薄膜の圧電MEMS応用 吉村 武(大阪府立大学)
17:00 - 18:30 懇親会
参加費:無料 (懇親会費:\3,500程度)
参加申し込みは下記までご連絡下さい
神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻 神野研究室
竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp (""は削除して下さい)