圧電MEMS研究会
第2回研究会
日時: 2013年10月7日(月) 13:00〜16:40
場所: 産業技術総合研究所つくば東事業所 4G棟1F 国際セミナー室
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/east/tsukuba_map_e.html
(当日 12:40つくばセンター発の臨時マイクロバス(最大28人)が出ますのでご利用下さい)
13:00 - 13:05 諸連絡 神野伊策(神戸大学) 13:05 - 13:35 自社製品用PZT膜のファンドリーサービスへの応用と課題への取組み 竹本剛士(シリコンセンシング) 13:35 - 13:55 産総研8インチラインの紹介 (MNOIC) 13:55 - 15:00 産総研集積マイクロシステム研究センター見学会 15:00 - 15:20 休憩 15:20 - 16:05 センサネットワークと圧電MEMS(仮題) 伊藤 寿浩(産総研集積マイクロシステム研究センター 副センター長) 16:05 - 16:50 BiFeO3非鉛薄膜の圧電MEMS応用 吉村 武(大阪府立大学) 17:00 - 18:30 懇親会 参加費:無料 (懇親会費:\3,500程度) 参加申し込みは下記までご連絡下さい 神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻 神野研究室 竹中京子 e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp (""は削除して下さい)