第３０回研究会

日時： 2025年2月3日 (月) 13:30〜16:45
場所：産業技術総合研究所　臨海副都心センター＜別館＞　会議室１（11F 11205〜6) https://www.aist.go.jp/waterfront/ja/access/ （＊オンライン併用）

プログラム： 
13:30 - 14:30  化学溶液法を用いたPZT膜の作製と圧電特性評価
　　　　　　　　　　　飯島 高志（産業技術総合研究所・東京理科大学）

14:30 - 15:15  常温直接接合を用いた複合ウエハー技術と無線・光通信、
センサーデバイスへの展開	　　　　　　鵜野 雄大（日本ガイシ）

15:15 - 15:30　　休憩

15:30 - 16:30　　高周波フィルタ用弾性波デバイスの高性能化
	　　　　　　　　　　　　　　　　　　　垣尾 省司（山梨大学）

16:30 - 16:45  　研究会活動報告・諸連絡　　　　神野 伊策（神戸大学）


17:00 - 18:30 　懇親会 　   （会費 \2,000円）



参加ご希望の方は、件名に「第30回圧電MEMS研究会参加申込み」と記載の上、
氏名、所属、メールアドレス、参加形態（現地・オンライン）、懇親会（参加・不参加）を
ご記入の上、1月25日迄に下記までメールお願いします。

神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻　神野研究室内
「圧電MEMS研究会」事務局　竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp   (""は削除して下さい)

リモート参加者には1月27日以降Teams URLをご連絡致します。