圧電MEMS研究会
第31回研究会
日時: 2025年6月3日 (火) 13:30〜16:45
場所:神戸三宮センタープラザ9階 KOBE Co CREATION CENTER Room A,B
神戸市中央区三宮町1丁目9番1号センタープラザ9階
(*オンライン併用)
13:30-14:30 スパッタ法による Nb-PZT 薄膜開発の経緯:成膜の原理と装置の基礎から考える 藤井隆満 (藤井技術士事務所/概AK薄膜デバイス研究所) 14:30-15:15 強誘電体薄膜測定技術(仮題) 大畑宙生(高純度化学研究所) 15:15-15:30 休憩 15:30-16:30 ペロブスカイト型酸化物の格子欠陥と強誘電・圧電物性 野口祐二(熊本大学) 16:30-16:45 研究会活動報告 神野伊策(神戸大学) 17:00 懇親会参加ご希望の方は、件名に「第31回圧電MEMS研究会参加申込み」と記載の上、 氏名、所属、メールアドレス、参加形態(現地・オンライン)、懇親会(参加・不参加)を ご記入の上、5月23日迄に下記までメールお願いします。 神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻 神野研究室内 「圧電MEMS研究会」事務局 竹中京子 e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp (""は削除して下さい) リモート参加者には5月27日以降Zoom URLをご連絡致します。