第５回研究会

日時： 2014年7月10日(木) 13:00〜16:45
場所： 大阪府立大学　中百舌鳥キャンパス　サイエンスホール(A12棟)　
〒599-8531 大阪府堺市中区学園町1番1号
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プログラム： 
13:00 - 13:10　諸連絡

13:10 - 13:40　ISAF2014会議報告　　　　吉村 武（大阪府立大）

13:40 - 14:25　PZT圧電薄膜のヤング率測定　　 岩田 敏一（東陽テクニカ）
　　　ナノインデンターおよびレーザ音響法によるSol-gelおよびsputter PZT 薄膜の
　　　ヤング率測定

14:25 - 14:50　PZT膜の圧電変位に与える繰り返し電界の影響　 飯島 高志（産総研）
　　　シリコン基板上に作製した膜厚5um、直径200umのディスク状PZT膜にバイポーラ
　　　ユニポーラ電界を繰り返し印加した際の微小変位与える波形、周波数の影響

休憩

15:10 - 15:50　PZT/Siユニモルフカンチレバーの経時変化   神野 伊策（神戸大学）
　　　産総研Sol-Gel PZT薄膜を中心としたカンチレバー素子のアクチュエータ
　　　変位特性について，経時変化を評価

15:50 - 16:30　PZT/Siマイクロカンチレバーの経時変化   小林 健（産総研）
　　　ゾルゲル法でPZT薄膜を形成したSOIウエハを、MEMS技術によって微細加工して
　　　作製した、圧電MEMSマイクロカンチレバーの変位電圧特性の経時変化を報告．

16:30 - 16:45　産総研Sol-Gel PZT薄膜評価の総括    小林 健（産総研）

17:00 - 18:30 　懇親会 （シエル（B15棟）; \2,000）


参加費：　　会員−無料
          非会員−\20,000


参加ご希望の方は6/30(月)までに下記までご連絡下さい．
・懇親会の参加についても合わせてご連絡下さい．


神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻　神野研究室
　竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp   (""は削除して下さい)