第９回研究会

日時：　2016年2月4日(木) 13:30〜16:50
場所：　大阪府立大学　I-siteなんば 2階 カンファレンスルーム C1
〒556-0012 大阪市浪速区敷津東2丁目1番41号 南海なんば第1ビル
***アクセス***
参加費：　会員−無料， 非会員−\20,000

プログラム： 
13:30 - 14:30　 
スパッタ法を用いた酸化物機能性薄膜の作製（仮題）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　足立 秀明（パナソニック）
14:30 - 15:30　
Sc添加AlN薄膜の作製とその圧電特性
　　　　　　　　　　　　　　　　　　秋山 守人（産業技術総合研究所）
15:30 - 15:45　休憩
15:45 - 16:30  	
Comprehensive characterization of piezoelectric thin film coefficients 
for industrial applications
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Roland Kessels（aixACCT / ヤーマン）
16:30 - 16:50　
圧電薄膜測定技術に関するIEC国際標準化プロジェクト：進捗報告3
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　神野伊策（神戸大学）

17:15 - 18:30 　交流会 　（I-siteなんば A1, A2）
　　　　　　　　（交流会費：　\1,500/人） 


参加ご希望の方は1/26(火)までに下記事務局までご連絡下さい．
　・懇親会の参加についても合わせてご連絡下さい．


神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻　神野研究室内
「圧電MEMS研究会」事務局　竹中京子
e-mail : takenaka"@"port.kobe-u.ac.jp   (""は削除して下さい)