センシングデバイス工学分野

本研究室では，先端機械工学分野の研究を通して実用を見据えた基礎研究を推進しています．国内外の大学・研究機関との共同研究の他，産学連携を通して研究成果を社会へ還元するとともに次世代技術の創出に取り組んでいます．　

研究分野は，圧電薄膜材料等の機能性材料，およびそれらを用いたマイクロセンサ・マイクロアクチュエータ，更にマイクロロボテックスやバイオMEMS等，幅広い領域を対象としています．
機械工学をベースとして，マイクロ・ナノテクノロジー，環境・エネルギー，医療や農業分野等の融合領域において新しい研究分野の開拓に挑戦しています．
我々の研究活動に興味をお持ちの方は，学生，研究者，また企業技術者を問わず是非研究室にお越し下さい．


最新情報＆更新情報

2023.12.30
  • 研究室メンバーリストを更新しました
  • M2小川君らの(Ce,Mn)置換ZnO薄膜の強誘電性に関する研究がJpn. J. Appl. Phys. に掲載されました
  • 清華大学(中国)において神野教授が圧電MEMSに関する講義を行いました(12/20)。
  • ローム㈱との共同研究「限界電流式の小型酸素・湿度センサ（MEMSセンサの開発）」がARIM Japan　文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ　令和5年度「秀でた利用成果」優秀賞を受賞しました
  • グォン助教らのSi基板上エピタキシャルPZT薄膜の組成依存性に関する研究がAdv. Mater. Interfaces に掲載されました
  • 第55回（2023年秋季）応用物理学会講演会においてM2小川君がZnO薄膜の強誘電性に関する発表を行い、講演奨励賞、また田中研究員のKNNエピタキシャル薄膜に関するポスター発表がPoster Awardを受賞しました
  • ICAE2023/IWPMA2023(10/31-11/3, Jeju, 韓国)において神野教授がスパッタ法により作製した圧電薄膜に関する招待講演をしました
  • インドC-MET Dr. V. Kumarらとの共同研究であるガラス基板上PZT薄膜に関する研究がBull. Mater. Sci. に掲載されました
  • 日中強誘電体会議(CJFMA-15, 8/12-15, 泰山, 中国)において神野教授がSi基板上エピタキシャルKNN薄膜に関する招待講演をしました
  • ISAF-PFM-ISIF 2023(7/23-27, Cleaveland, USA)において神野教授がSi基板上エピタキシャルPZT薄膜に関する招待講演をしました
  • 田中研究員らのSi基板上エピタキシャルKNN薄膜に関する研究がJpn. J. Appl. Phys.に掲載されました